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Bobby Brown

更新 2025-06-09

【QUANTM EODD × 半導体CDS】エア削減、騒音削減、電力消費71％削減

公開日：2025年6月6日　最終更新日：2025年6月10日

2025年5月のPrecedence Researchの報告によると、半導体の湿式プロセス用化学薬品の世界市場は2024年に約149億米ドルに達しました。Maximize Market ResearchおよびTECHCETの追加分析によれば、先端ノードの複雑化と新しいウェーハ工場への継続的な投資により、市場は今後年平均成長率（CAGR）6～7％で成長すると予測されています。
精密で安定かつ汚染のない化学薬品の供給ニーズが高まる中、半導体工場は、24時間365日の稼働を中断させることなくクリーンルーム基準を満たしつつ、低騒音・遠隔監視対応・コンパクトなポンプソリューションの導入をシステムインテグレーターに強く求めています。

📌 半導体クリーンルームの薬液搬送：騒音・空圧・設置スペースを削減し、遠隔監視を実現するには？

実際の導入事例：LTCAM 半導体化学薬品搬送システムインテグレーター

工場の現況

LTCAMは、半導体向け化学薬品搬送システムの統合を専門とするエンジニアリング会社です。クリーンルーム内の化学薬品供給エリアでは、配管を通じて高純度の化学薬品を連続的に搬送する必要があります。これらには、ウエハ洗浄液、エッチング液、CMPスラリー、電解液などが含まれ、いずれも高い腐食性を持ち、粘度や比重も異なります。これらの液体は、密閉された配管内で安定した流量を維持しながら、24時間体制で製造装置へ供給されなければなりません。

改善目標

1. 運転時の騒音を低減する
2. システムの設置スペースを増やさない
3. 圧縮空気配管を不要にしてエネルギー使用と保守コストを削減する
4. ポンプをPLCと連携し、自動監視を可能にする
5. 交換用ポンプはドライランおよび自吸機能を備える必要がある

💡 騒音とエアコストの課題を同時に解決︓QUANTM 電動ポンプの導入効果

こちらのケースでは、1インチのエア駆動ダイヤフラムポンプを、GRACO QUANTM i30 電動ダイヤフラムポンプに交換しました。
電動モーター駆動により圧縮空気が不要となり、騒音を低減するとともに、エネルギーおよびメンテナンスコストの削減を実現します。
コンパクトな本体は既存フレームにそのまま収まり、追加の設置スペースを必要としません。
自吸機能や空転対応といったダイヤフラムポンプの特長はそのまま維持されており、安全な停止・排液・CIP（定置洗浄）プロセスを確保します。
また、Modbus-RTUインターフェースを内蔵しており、PLCと直接接続して運転状態をリアルタイムで監視でき、自動化システムとの統合も容易です。