발표일: 2025-06-06 최종 업데이트: 2025-06-10
2025년 5월 Precedence Research 보고서에 따르면, 2024년 전 세계 반도체 습식 공정 화학약품 시장 규모는 약 149억 달러에 달했습니다. Maximize Market Research 및 TECHCET의 추가 분석에 따르면, 첨단 노드의 복잡성 증가와 신규 웨이퍼 팹 투자의 지속에 힘입어, 이 시장은 연평균 6~7%의 성장률(CAGR)을 기록할 것으로 전망됩니다.
정밀하고 안정적이며 오염 없는 화학약품 공급에 대한 수요가 증가함에 따라, 반도체 팹에서는 시스템 통합업체에 대해 더욱 낮은 소음, 원격 모니터링 가능, 콤팩트한 설계를 갖춘 펌프 솔루션을 요구하고 있습니다. 이는 24시간 무중단 가동과 클린룸 기준 유지를 동시에 달성하기 위함입니다.
📌 반도체 클린룸 화학약품 이송 현장: 소음 감소, 에어컴프레서 절감, 공간 절약, 원격 모니터링까지 가능하게 하려면?
실제 고객 사례 – LTCAM 반도체 화학약품 이송 시스템 통합 업체
공장 현황
LTCAM은 반도체용 화학 약품 이송 시스템을 전문으로 하는 통합 솔루션 업체입니다. 해당 공장의 클린룸 화학 공급 구역에서는 웨이퍼 세정액, 에칭액, CMP 슬러리, 전해 도금액 등 다양한 고순도 화학 유체를 폐쇄형 배관을 통해 24시간 안정적으로 공정 장비에 공급해야 합니다. 이들 유체는 고부식성이며 점도와 비중이 각각 달라, 고도의 안정성과 정밀한 제어가 요구됩니다.
개선 목표
- 1. 운전 소음 감소
- 2. 설비 공간 추가 점유 방지
- 3. 압축공기 배관 제거로 에너지 사용 및 유지보수 절감
- 4. PLC와 연동하여 펌프 자동 모니터링 구현
- 5. 교체 펌프는 드라이런(dry-run) 및 자흡(self-priming) 기능 필수
💡 에어펌프의 고소음과 공압 비용에서 해방! QUANTM 전동 다이아프램 펌프, 5대 문제를 한 번에 해결
이 사례에서는 기존 화학물 수송 시스템에 사용되던 1인치 에어 다이아프램 펌프를 GRACO QUANTM i30 전동 다이아프램 펌프로 교체하였습니다.
전동 모터 구동 방식으로 압축공기 필요 없이 작동하며, 소음이 현저히 감소하고 에너지 및 유지보수 비용이 동시에 절감됩니다.
펌프 본체 크기가 기존 프레임과 호환되어 추가 공간 설치 없이 바로 장착 가능하며,
다이아프램 특유의 자흡(Self-Priming) 및 공회전(Dry-Run) 기능을 유지해 정지 시 배관 비움과 CIP 공정의 안전성을 확보합니다.
내장된 Modbus-RTU 인터페이스를 통해 PLC에 바로 연결 가능하며, 운전 데이터를 실시간으로 전송해 자동화 모니터링 요구도 충족시킵니다.
🔧 전동 다이아프램 펌프는 고객의 요구를 어떻게 충족시키는가
QUANTM i30 전동 다이아프램 펌프 주요 특징
🔇 소음 61 dB(A)로 감소
현장에서 75 dB에서 61 dB로 감소. 청력 보호 장비 불필요. 진동은 0.3 mm/s 미만으로, 장비 통합에 적합.
📦 설치 공간 추가 불필요
펌프 크기 250 × 310 mm로, 기존 모델보다 42% 작음. 기존 프레임 내 손쉽게 설치 가능하며, 사각지대 감소로 세척도 간편.
⚡ 연간 에너지 30 MWh 절감
압축 공기를 제거함으로써, 펌프 16대가 연간 약 30 MWh를 절감하고 공기 시스템 유지보수 비용도 절감.
📡 실시간 디지털 모니터링
내장 I/O 단자를 통해 PLC와 연결 가능. Modbus-RTU 지원으로 흐름, 압력, 부하 데이터를 SCADA에 실시간 전송.
💧 자흡식 및 공회전 가능
최대 6m 자흡 가능. 재시동 시 별도 프라이밍 불필요. 최대 30분 공회전 가능하여 CIP 및 시스템 배수에 적합.
📊 검증된 효과: 에너지 사용 71% 절감, 소음 14 dB 감소
¹ 미국 평균 산업용 전기요금 \$0.13 USD/kWh 및 일반적인 공기압축기 효율 0.25 kW/(m³/min) 기준으로 추정하였습니다. 실제 절감 수치는 시스템 조건에 따라 달라질 수 있습니다.
🔍 더 많은 산업 현장에서의 QUANTM EODD 성공 사례